| 采购单位: | 某单位 |
| 项目名称: | RCA清洗机采购 |
| 预算金额（元）: | 4,000,000.00 |
| 采购品目: | 电气设备 |
| 采购需求概况: | 为开展8英寸碳化硅(SiC)晶片清洗工艺、保障衬底及外延工序前的表面洁净度，控制颗粒污染与金属污染水平，提升后续制程良率，现拟采购RCA双面刷洗设备一套。设备采用RCA标准湿法清洗工艺，以SC1、SC2、DHF等药液配合纯水喷淋，结合PVA/尼龙双面毛刷擦洗与兆声波清洗去除晶片表面颗粒、有机物与金属离子，通过机械手自动传片完成逐槽工序后甩干，实现晶圆清洗的全自动、批量化作业。 |
| 联系人: | 董老师 |
| 联系电话: | 0755-82077536转123 |
| 预计采购时间: | 2026年11月 |
| 备注: | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
2026年10月15日
