| 采购单位: | 某单位 |
| 项目名称: | 瑕疵检测仪采购 |
| 预算金额（元）: | 4,300,000.00 |
| 采购品目: | 光学仪器 |
| 采购需求概况: | 为实现碳化硅(SiC)衬底表面缺陷检测、晶圆快速质量管控以及生长工艺研究，现拟采购SiC瑕疵检测仪一套。设备利用特定光源，通过明场(BF)、暗场(DF)与光致发光(PL/PLX)多通道光学检测技术扫描晶圆表面，采集表面反射，表面散射光与膜内光致发光信号，实现颗粒、划痕、凹坑、凸起、微管、胡萝卜缺陷、表面三角形、层错、位错、碳包裹、多型、崩边等各类缺陷的高灵敏度识别、自动分类与全片缺陷分布Mapping。 |
| 联系人: | 董老师 |
| 联系电话: | 0755-82077536转123 |
| 预计采购时间: | 2026年11月 |
| 备注: | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
2026年10月15日
